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四极质谱计在真空测量中的分析作用
作者:管理员    发布于:2014-03-19 10:07:25    文字:【】【】【
    彩显管真空质量测定装置装置由抽气系统、质谱分析系统和取样系统三部分组成。河北板框压滤机质谱分析系统[包括:QMS探头、B-A规、质谱分析室、V1、V3~V5阀及相关管道]经过长期烘烤后,利用溅散离子泵始终维持在超高真空状态下。即使在更换被测彩显管并对取样系统玻管单独进行烘烤除气期间,V1、V3阀也不打开,以保持质谱分析系统不受污染。
  利用台钻(夹持着金刚砂钻头)在被测管锥体的适当位置上钻出规定深度的凹坑(留0.5mm厚的薄壁);用Torrseal密封胶将一段硬料玻管粘接在凹坑周围;等这种低蒸汽压的环氧树脂密封胶固化后,用磁铁将磁性锤小心地吸入取样玻管内;将粘接有取样玻管的被测管从B点处熔接入“取样系统”,然后,封住“吹气管尾”(小辫子)。
  本装置中的核心仪器为Transpector2型智能化四极质谱计(QMS),用它可进行残气成分分析和分压力测量。由于该仪器的设计,电脑屏幕上不仅可适时地给出真空系统内设定气体的分压力,还可同时显示“总压力”数值。残气分析和扫屏放气性能分别采用“静态膨胀法”和“静态定容法”测试,为避免B-A规吸放气效应对测试结果的影响,测试过程中,B-A计始终关闭,仅用这台QMS采集和贮存不断变化着的总压力和各设定气体的分压力数据。测试用扫屏电源为“PCA350B――3A――DAF”型数显式彩显管通用电源。河北滤板参数可调、稳定可靠。  
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